Компания в Шанхае при поддержке государства запустила серийное производство иммерсионных DUV-сканеров — станков, на которых печатают современные чипы. Первые машины уйдут уже в этом году на SMIC, Hua Hong и производителю памяти CXMT. Об этом пишет The Information со ссылкой на два источника, знакомых с программой.
План выпуска — около пяти машин в 2026 году и примерно двадцать в 2027-м.
Производителя не назвали. По описанию источников это сборная команда: инженеров по DUV собрали из нескольких китайских компаний, одна из них — стартап Shanghai Yuliangsheng Technology. SMIC тестирует его иммерсионный станок с сентября 2025 года.
Большинство компонентов китайские. Но часть критичных узлов по-прежнему приходит из Японии, и задержки у местных поставщиков тормозят выпуск.
Иммерсионный DUV — не самая передовая литография, до EUV ей далеко. Зато она печатает 28-нанометровые элементы за один проход, а через многократное экспонирование дотягивается до 7 нм. Дороже, медленнее, больше брака — но чипы получаются.
Момент выбран не случайно. В Конгрессе движется законопроект MATCH Act (H.R. 8170), который закрепляет в законе статус ограниченных для SMIC, Hua Hong, CXMT, Huawei и YMTC. Три из пяти — первые заказчики нового китайского сканера. Запрет касается не только новых поставок ASML, но и обслуживания с техподдержкой. То есть под удар попадает и тот парк станков, что уже работает в китайских фабах.
Пока доля Китая в выручке ASML — около 20% против 33% годом ранее.
Оценки со стороны сдержанные. Аналитики AI Futures Project в июне давали Китаю коммерческие иммерсионные сканеры не раньше середины 2030-х; у ASML сейчас 98,7% этого рынка. Квалификация новых машин под реальную производственную линию занимает месяцы, и по производительности и качеству сборки они уступают. Свой EUV, рабочий прототип которого Reuters описывала в декабре, ещё дальше.
ASML отгрузит в 2026 году около 130 иммерсионных систем — столько же, сколько в 2025-м. Китай — пять. Впервые не ноль.
